Semi-conducteurs
EDXRF / XRF pour semi-conducteurs et supports magnétiques
Épaisseur et composition élémentaire des couches minces multicouches
La fabrication de dispositifs semi-conducteurs est le processus utilisé pour créer les circuits intégrés (puces de silicium) présents dans les appareils électriques et électroniques de tous les jours. Il s'agit d'une séquence en plusieurs étapes d'étapes de traitement photographique et chimique au cours desquelles des circuits électroniques sont progressivement créés sur une plaquette en matériau semi-conducteur pur. Le silicium est le matériau semi-conducteur le plus couramment utilisé aujourd'hui, avec divers semi-conducteurs composés. Du début aux puces emballées prêtes à être expédiées, l'ensemble du processus de fabrication prend de six à huit semaines et est effectué dans une installation hautement spécialisée connue sous le nom de FAB.
La mémoire magnétique est un terme technique faisant référence au stockage de données informatiques, audio ou vidéo et est une forme de mémoire non volatile. Les informations sont généralement accessibles à l'aide d'une ou plusieurs têtes de lecture/écriture.
Épaisseur et composition sans normes
La NEX CG II Series Les spectromètres de paillasse sont alimentés par le logiciel RPF-SQX Fundamental Parameters (FP) de Rigaku, doté de la technologie Rigaku Profile Fitting (RPF) et Scattering FP. Ce logiciel robuste permet une analyse semi-quantitative de presque tous les types d'échantillons sans étalons – et une analyse quantitative rigoureuse avec des étalons.
L'épaisseur de la couche et la composition chimique des échantillons multicouches sont facilement déterminées grâce à l'analyse par fluorescence X à dispersion d'énergie (EDXRF) - pour les films minces jusqu'à plusieurs couches atomiques (moins de 1 nm) et jusqu'à la plage du µm ou même du mm . L'approche Rigaku RPF-SQX FP peut être utilisée pour tous les calculs, et sans l'utilisation de normes (c'est-à-dire qu'aucune norme multicouche spécifique n'est requise). Néanmoins, toute norme multicouche disponible peut être utilisée pour optimiser les résultats.