Halbleiter

EDXRF / XRF für Halbleiter und magnetische Medien

Dicke und elementare Zusammensetzung von mehrschichtigen Dünnschichten

Die Herstellung von Halbleitergeräten ist der Prozess, der verwendet wird, um die integrierten Schaltkreise (Siliziumchips) herzustellen, die in alltäglichen elektrischen und elektronischen Geräten vorhanden sind. Dabei handelt es sich um eine mehrstufige Abfolge von fotografischen und chemischen Verarbeitungsschritten, bei denen nach und nach elektronische Schaltungen auf einem Wafer aus reinem Halbleitermaterial entstehen. Silizium ist heute neben verschiedenen Verbindungshalbleitern das am häufigsten verwendete Halbleitermaterial. Vom Start bis zum versandfertig verpackten Chip dauert der gesamte Herstellungsprozess sechs bis acht Wochen und wird in einer hochspezialisierten Anlage namens FAB durchgeführt.

Magnetspeicher ist ein technischer Begriff, der sich auf die Speicherung von Computer-, Audio- oder Videodaten bezieht und eine Form von nichtflüchtigem Speicher ist. Auf Informationen wird typischerweise unter Verwendung eines oder mehrerer Lese-/Schreibköpfe zugegriffen.

Rigaku NEX CG II

Dicke & Zusammensetzung ohne Standards

Das NEX CG II Das Benchtop-Spektrometer wird von Rigakus Software RPF-SQX Fundamental Parameters (FP) mit Rigaku Profile Fitting (RPF)-Technologie und Scattering FP betrieben. Diese robuste Software ermöglicht die halbquantitative Analyse fast aller Probenarten ohne Standards – und die rigorose quantitative Analyse mit Standards.

Schichtdicke und chemische Zusammensetzung mehrschichtiger Proben lassen sich einfach mit der energiedispersiven Röntgenfluoreszenzanalyse (EDXRF) bestimmen – für dünne Schichten bis hinunter zu mehreren Atomlagen (weniger als 1 nm) und bis in den µm- oder sogar mm-Bereich . Unter Verwendung des Rigaku-RPF-SQX-FP-Ansatzes kann für alle Berechnungen und ohne die Verwendung von Standards (dh es sind keine spezifischen Mehrschichtstandards erforderlich) verwendet werden. Dennoch kann jeder verfügbare Mehrschichtstandard verwendet werden, um die Ergebnisse zu optimieren.

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